流量儀表

        PZ10-HS-DS質量流量計/控制器

        2021/11/25 15:28:55

        質量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質量流量進行精 密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、 環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括:電子工藝 設備,如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及鍍膜設備、光纖熔 煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。...


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        1、PZ10-HS-DS質量流量計產品展示:


        PZ10-DS質量流量計.jpg
        PZ10-DS質量流量計
         

        產品簡介:

        質量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質量流量進行精 密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、 環境保護和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括:電子工藝 設備,如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及鍍膜設備、光纖熔 煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。

         


        工作原理:

        PZ10-HS/DS 系列氣體質量流量控制器較好的精度、堅固性及可靠性源于我公司特別的 傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器,能自動校正溫度 及壓力變化產生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數值,然后測量氣體流量的降溫效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質量流量成正比的 原理計算流量。兩傳感器均為標準級白金電阻溫度探測器(RTD)。白金 RTD 絲纏繞在堅固 的陶瓷芯軸上,牢固且可靠。整個傳感器密封在 316 不銹鋼包裝殼內。


         
        主要技術指標:

        1

        量程范圍

        (0~500,1000,1500,2000,2500,3000...)SLM

        2

        準 確 度

        ±0.5%F.S/±1.0%F.S

        3

            

        ±0.5%F.S

        4

        重復精度

        ±0.2%F.S

        5

        響應時間

        電特性:1sec 氣特性:(1~4)sec

        6

        工作壓差

        0.02~1.0Mpa

        7

            

        3Mpa,10Mpa

        8

        工作環境溫度

        0~50℃

        9

        數 字 量

        RS485/232 MODBUS 協議

        10

        模 擬 量

        DC 0~5V ,1~5V,4~20mA 可選

        11

            

        DC ±15V/24V 可選,電源功率≥20W

        12

        電氣連接

        DB15 

        13

            

        1×10-9SCCSHe

        14

        底座材質

        316L 不銹鋼

        15

        密封材質

        氟橡膠,聚四氟乙烯,丁晴橡膠

        16

        氣路接頭

        3/4〞,Φ20,Φ25,法蘭連接




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